分析1/4波片对椭圆偏振法测量误差产生的原因

 分析1/4波片对椭圆偏振法测量误差产生的原因

温淑珍     李怀亮      张全禹      

绥化学院物理与电子信息系     邮编：152061

文摘：

本文主要讨论1/4波片误差对椭偏法测量薄膜厚度及折射率等参量的影响，质量理想的波片以及方位角的误差对PCSA系统测量结果的影响。

关键词：

波片    椭偏法   偏振光

Wenshuzhen    Lihuailiang   ZHangquanyu

Suihua institute physics and electronic information department

The postal service codes : 152061

Abstract：

This article mainly discusses 1/4 wave piece error to ellipse leaning method survey parameter the and so on film thickness and refractive index influence, the quality ideal wave piece as well as the azimuth error to the PCSA system measurement result influence.

Key words:  Wave piece    The ellipse leaning method    Polarized light     

引言：

椭圆偏振法简称椭偏法，是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法，椭偏法的基本原理由于数学处理上的困难，直到本世纪40年代计算机的出现以后才发展起来，椭偏法的测量经过几十年的不断改进，从手动测量进入到全自动、变入射角、变波长和实时监测，极大的促进了纳米技术的发展，椭偏法的测量精密度高，灵敏度也很高。因此，椭偏法在半导体材料，光学，化学，生物学和医学等领域有着广泛的应用。

椭圆偏振光测量方法（简称椭偏法）是一种光学薄膜参量测量中专门的方法。采用椭偏法测量的仪器叫椭偏仪。典型的椭偏测量光路如图